掃描電子顯微鏡(SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并通過(guò)檢測(cè)由樣品散射或發(fā)射的電子信號(hào)來(lái)獲取樣品圖像的高分辨率顯微鏡。鎢燈絲掃描電子顯微鏡是掃描電子顯微鏡的一種,其中的鎢燈絲作為電子槍的電子源。鎢燈絲因其優(yōu)異的物理特性和穩(wěn)定性,在許多電子顯微鏡中作為電子源被廣泛應(yīng)用。一、技術(shù)原理鎢燈絲掃描電子顯微鏡的基本原理是,通過(guò)加熱鎢燈絲產(chǎn)生電子,利用電場(chǎng)加速這些電子至高能態(tài)后,聚焦成細(xì)小的電子束,通過(guò)掃描方式照射到樣品表面。樣品表面的原子會(huì)與電子束發(fā)生相互作用,產(chǎn)生多種信號(hào),包括二次...
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